测量台
旋转方式

静压空气轴承

旋转精度

(0.04+0.0006H) μm H: 测头高度(mm) (WFT-330)
(0.04+0.0005H) μm H: 测头高度(mm) (WFT-340)

旋转速度

1至10转／分(速度可调)

尺寸

160mm (WFT-330), 180mm (WFT-340)

中心调节范围

±2mm

水平调节范围

±1.0°

最小角度指示

0.1

工件最大重量

20kg

工件最大直径

368mm

主柱单元
直线度

0.6μm/100mm (1.2μm/250mm) (WFT-330)
0.4μm/100mm (0.8μm/300mm) (WFT-340)

平行度

0.75μm/100mm (1.5μm/200mm) (WFT-330)
0.5μm/100mm (1.0μm/200mm) (WFT-340)

垂直行程

250mm (WFT-330), 300mm (WFT-340)

移动速度

0.5, 1, 2, 5mm/s at measuring

测头最大高度

外圆420毫米(WFT-330)，545毫米(WFT-340)

内圆270毫米(WFT-330),　320毫米(WFT-340)

测臂单元
径向移动距离

130mm (WFT-330), 160mm (WFT-340)

测头
测力

100mN or less (大小可调)

测量范围

1800μm

触针

Radius 0.8mm, 硬质合金

分析单元
放大倍数

100,200,500,1.000,2.000,5.000,10.000,20.000,50.000x

数字滤波

圆度： 2CR
      Gaussian

N15, N50, N150, N500, N15-500, 非滤波
D15, D50, D150, D500, D15-500, 非滤波

直线度:2CR
      Gaussian

fh0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm, 非滤波
fh0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm, 非滤波

评定方法

MZC, LSC, MCC, MIC

几何特征

圆度，平面度，圆柱度，同轴度，同心度，跳动，垂直度，直线度，
平行度，厚度偏差

效用
电源

AC100V-220V, ±10%, 50/60Hz

分析单元
压缩空气

4.5 to 9.9kgf/cm2 (440 to 970KPa), 干燥空气

空气压力

4 to 5kgf/cm2 (390 to 490KPa), 30Nl/min

尺寸
测量单元

590mm x 332mm x 918mm, 130kg (WxDxH)

控制单元

406mm x 342mm x 270mm, 20kg (WxDxH)

计算机和打印机

当地供应

环境要求

温度10º to 30º, 湿度 80%